真空熔煉爐的維護和保養(yǎng)方法是哪些呢 　　真空熔煉爐是在抽真空爐體中用電弧直接加熱熔煉金屬的電爐。爐內(nèi)氣體稀薄，主要靠被熔金屬的蒸氣發(fā)生電弧，為使電弧穩(wěn)定，一般供直流電。按照熔煉特點，分為金屬重熔爐和澆鑄爐。按照熔煉過程中電極是否消耗(熔化)，分為自耗爐和非自耗爐，工業(yè)上應用的大多數(shù)是自耗爐。真空電弧爐用于熔煉特殊鋼、活潑的和難熔的金屬如鈦、鉬、鈮。 　　電弧電熱可以認為是弧阻電熱。電弧(弧阻)穩(wěn)定是爐子正常生產(chǎn)的必要條件。交流電弧爐通常采用工頻電，為使電弧穩(wěn)定，真空熔煉爐爐子供電電路中要有適當?shù)母锌梗谴嬖诟锌箷档凸β室驍?shù)和電效率。降低電流頻率是發(fā)展交流電弧爐的途徑。弧阻阻值相當小，為獲得必要的熱量，爐子需要相當大的工作電流，因此爐子短網(wǎng)的電阻要盡量小，以免電路損耗過大。那要如何做好維護和保養(yǎng)呢？方法有二，如下： 　　1、按照PLC程序抽低真空：緊閉真空熔煉爐所有的真空閥門，啟動機械泵，待其運行正常后(大約1-2min)，打開通向爐體的低真空閥即上碟閥，預先對爐體抽低真空; 　　2、按照PLC程序抽高真空：打開下碟閥，對擴散泵進行抽氣，當真空度達到15Pa以下后，真空熔煉爐系統(tǒng)自動開啟擴散泵進行預熱，一般經(jīng)過45min左右擴散泵開始其作用，就可以關閉上碟閥，同時開啟主阻擋閥待真空度達到1.33×10Pa以上，才可以開啟加熱按鈕對樣品進行加熱。

　　氣相沉積爐的優(yōu)勢有哪些　　氣相沉積爐為沉積爐主體內(nèi)有加熱室，水冷電極，測溫熱電偶，是處理工件的核心部分。下面是關于爐子優(yōu)勢介紹。　　電阻爐可采用多溫區(qū)獨立控溫，溫度均勻性好；　　氣相沉積爐采用智能壓力調(diào)控，壓力波動小；　　全封閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強；　　多通道工藝氣路，流程均勻，無沉積死角，沉積效果好；　　多級尾氣處理系統(tǒng)，環(huán)境友好，能很快收集焦油及副產(chǎn)物，易清理；　　氣相沉積爐可選配外循環(huán)快冷系統(tǒng)，降溫時間短，生產(chǎn)效率高。