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真空燒結(jié)爐冷卻水異常和遇到停電時的應(yīng)急措施
發(fā)布時間:2018-06-11   瀏覽:3542次

  真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝。可進(jìn)行真空燒結(jié),氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié),是半導(dǎo)體設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備。它設(shè)計構(gòu)思新穎操作方便,結(jié)構(gòu)緊湊。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理,真空釬焊等工藝。下面,小編就為您介紹冷卻水異常和遇到停電時的應(yīng)急措施。

  高真空燒結(jié)爐冷卻水異常

  當(dāng)確認(rèn)加熱電源已停止。爐外發(fā)生漏水,冷卻水量異常時,應(yīng)盡快采取應(yīng)急措施,如能保證水量,請繼續(xù)保持真空,如不能采取應(yīng)急措施,保持原狀,確認(rèn)設(shè)備冷卻下來。高真空燒結(jié)爐冷卻水發(fā)生異常時,設(shè)備處于停止?fàn)顟B(tài),馬上接通緊急用冷卻水。在高溫(超過200℃即視為高溫)時,如果冷卻水停止了,如果不能緊急送水,水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。

  高真空燒結(jié)爐停電

  停電時如果斷水,應(yīng)立即接通高真空燒結(jié)爐備用的冷卻水,接通水源。如果在非升溫、加熱和冷卻時,能夠盡快恢復(fù)時,重新啟動設(shè)備,繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)如需要較長時間,則將設(shè)備保持原狀。如果正在加熱和冷卻時,能夠盡快恢復(fù)時,重新啟動設(shè)備,如果需要較長時間時,則保持原狀,讓設(shè)備自然冷卻下來。


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  如何對氣相沉積爐進(jìn)行日常的維護(hù)保養(yǎng)以及故障排除  氣相沉積爐作為材料制備的關(guān)鍵設(shè)備,在日常使用中需要得到妥善的維護(hù)保養(yǎng),以及及時有效的故障排除,以確保其穩(wěn)定、高效地運(yùn)行。氣相沉積爐廠家八佳電氣將詳細(xì)介紹氣相沉積爐的日常維護(hù)保養(yǎng)的要點(diǎn)以及常見故障的排除方法。  一、氣相沉積爐的日常維護(hù)保養(yǎng)要點(diǎn)  清潔工作  定期對氣相沉積爐進(jìn)行清潔是維護(hù)保養(yǎng)的基礎(chǔ)。應(yīng)清除爐體表面的灰塵和污垢,避免影響散熱和觀測。同時,還需注意清潔爐內(nèi)殘留物,防止其對后續(xù)實(shí)驗(yàn)或生產(chǎn)造成不良影響。  檢查氣路系統(tǒng)  氣路系統(tǒng)是氣相沉積爐的核心部分,需定期檢查氣體管道是否漏氣、堵塞或老化。對于發(fā)現(xiàn)的問題,應(yīng)及時進(jìn)行修復(fù)或更換,確保氣體流通暢通無阻。  電氣系統(tǒng)檢查  電氣系統(tǒng)的穩(wěn)定性直接關(guān)系到氣相沉積爐的正常運(yùn)行。應(yīng)定期檢查電源線路、控制開關(guān)等是否完好,有無松動、破損等情況。同時,還需對爐內(nèi)的溫度傳感器、壓力傳感器等進(jìn)行校準(zhǔn),確保其準(zhǔn)確反映爐內(nèi)狀態(tài)。  爐體密封性檢查  爐體的密封性對于氣相沉積過程至關(guān)重要。應(yīng)定期檢查爐門、觀察窗等部位的密封性能,如有泄露,應(yīng)及時處理。  二、氣相沉積爐常見故障排除方法  爐溫異常  當(dāng)氣相沉積爐出現(xiàn)爐溫異常時,首先應(yīng)檢查溫度傳感器是否損壞或失效。如傳感器正常,則需檢查加熱元件是否損壞或老化,以及電氣控制系統(tǒng)是否存在問題。  氣體流量不穩(wěn)定  氣體流量不穩(wěn)定可能是由于氣體管道堵塞、泄漏或氣路閥門故障所致。應(yīng)逐一排查這些可能的原因,并進(jìn)行相應(yīng)的清理、修復(fù)或更換工作。  爐內(nèi)壓力異常  爐內(nèi)壓力異常可能是由于壓力傳感器故障、真空泵失效或氣路系統(tǒng)泄漏等原因引起的。應(yīng)根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行排查和修復(fù)。  爐體振動或噪音過大  爐體振動或噪音過大可能是由于爐體結(jié)構(gòu)松動、風(fēng)機(jī)故障或電機(jī)運(yùn)行不穩(wěn)定等原因造成的。應(yīng)檢查并緊固爐體結(jié)構(gòu),檢查并更換損壞的風(fēng)機(jī)或電機(jī)。  三、維護(hù)保養(yǎng)與故障排除的注意事項  在進(jìn)行氣相沉積爐的維護(hù)保養(yǎng)和故障排除時,應(yīng)注意以下事項:  遵循操作規(guī)程  嚴(yán)格按照操作規(guī)程進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)和故障排除,避免因操作不當(dāng)導(dǎo)致設(shè)備損壞或人員受傷。  使用專業(yè)工具和設(shè)備  使用專業(yè)工具和設(shè)備進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)和故障排除,確保操作的高效性和準(zhǔn)確性。  做好記錄與總結(jié)  對維護(hù)保養(yǎng)和故障排除的過程進(jìn)行詳細(xì)記錄,總結(jié)經(jīng)驗(yàn)教訓(xùn),為今后的工作提供參考。  綜上所述,氣相沉積爐的日常維護(hù)保養(yǎng)和故障排除是確保其穩(wěn)定運(yùn)行的重要環(huán)節(jié)。通過掌握正確的維護(hù)保養(yǎng)要點(diǎn)和故障排除方法,并遵循相關(guān)注意事項,可以有效延長氣相沉積爐的使用壽命,提高生產(chǎn)效率。